Bagaimana Magnetron Sputtering Berfungsi?
Sputtering magnetron ialah kaedah pemendapan wap fizikal (PVD), kelas proses pemendapan vakum untuk menghasilkan filem dan salutan nipis.
Nama "magnetron sputtering" timbul daripada penggunaan medan magnet untuk mengawal tingkah laku zarah ion bercas dalam proses pemendapan magnetron sputter.Proses ini memerlukan ruang vakum yang tinggi untuk mewujudkan persekitaran tekanan rendah untuk sputtering.Gas yang terdiri daripada plasma, biasanya gas argon, memasuki kebuk terlebih dahulu.
Voltan negatif yang tinggi dikenakan antara katod dan anod untuk memulakan pengionan gas lengai.Ion argon positif daripada plasma berlanggar dengan bahan sasaran bercas negatif.Setiap perlanggaran zarah tenaga tinggi boleh menyebabkan atom dari permukaan sasaran terpancut ke dalam persekitaran vakum dan mendorong ke permukaan substrat.
Medan magnet yang kuat menghasilkan ketumpatan plasma yang tinggi dengan mengehadkan elektron berhampiran permukaan sasaran, meningkatkan kadar pemendapan dan menghalang kerosakan pada substrat daripada pengeboman ion.Kebanyakan bahan boleh bertindak sebagai sasaran untuk proses sputtering kerana sistem sputtering magnetron tidak memerlukan lebur atau penyejatan bahan sumber.
Parameter Produk
Nama produk | Sasaran titanium tulen |
Gred | Gr1 |
Kesucian | Lebih 99.7% |
Ketumpatan | 4.5g/cm3 |
MOQ | 5 keping |
Saiz jualan panas | Φ95*40mm Φ98*45mm Φ100*40mm Φ128*45mm |
Permohonan | Salutan untuk mesin PVD |
Saiz stok | Φ98*45mm Φ100*40mm |
Sasaran lain yang tersedia | Molibdenum(Mo) Chrome(Cr) TiAl Kuprum(Cu) Zirkonium(Zr) |
Permohonan
■Menyalut litar bersepadu.
■Paparan panel permukaan panel rata dan komponen lain.
■Hiasan dan salutan kaca, dsb.
Apakah produk yang boleh kita hasilkan
■Sasaran rata titanium ketulenan tinggi (99.9%, 99.95%, 99.99%)
■Sambungan berulir standard untuk pemasangan mudah (M90, M80)
■Pengeluaran bebas, harga berpatutan (kualiti boleh dikawal)
Maklumat Pesanan
Pertanyaan dan pesanan hendaklah mengandungi maklumat berikut:
■ Diameter, Tinggi (seperti Φ100*40mm).
■ Saiz benang (Seperti M90*2mm).
■ Kuantiti.
■ Tuntutan kesucian.