Sasaran Putar Logam
Medan magnet dan elektrik ortogon digunakan di antara sasaran sputtering (katod) dan anod.Dan isikan gas lengai yang diperlukan (biasanya gas Ar) dalam ruang vakum tinggi.Di bawah tindakan medan elektrik, gas Ar diionkan menjadi ion positif dan elektron.Voltan tinggi negatif tertentu dikenakan pada sasaran, elektron yang dipancarkan oleh sasaran dipengaruhi oleh medan magnet, kebarangkalian pengionan gas kerja meningkat, plasma berketumpatan tinggi terbentuk berhampiran katod, dan ion Ar terjejas oleh pasukan Lorentz.Kemudian memecut untuk terbang ke permukaan sasaran, dan mengebom permukaan sasaran pada kelajuan tinggi, supaya atom terpercik pada sasaran mengikut prinsip penukaran momentum, terbang dari permukaan sasaran ke substrat, dan mendepositkan filem tenaga kinetik yang tinggi.
Untuk meningkatkan lagi kadar penggunaan bahan sasaran, katod berputar dengan kecekapan penggunaan yang lebih tinggi direka bentuk, dan bahan sasaran tiub digunakan untuk salutan sputtering.Penambahbaikan peralatan sputtering memerlukan sasaran diubah daripada bentuk rata kepada bentuk tiub, dan kadar penggunaan sasaran berputar tiub boleh setinggi 70%, yang sebahagian besarnya menyelesaikan masalah penggunaan rendah sasaran rata.
Nama produk | Sasaran berputar logam |
bahan | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Saiz jualan panas | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm Juga boleh diproses mengikut keperluan khusus pelanggan |
MOQ | 3 keping |
Pakej | Kes kayu lapis |
Permohonan
Salutan sputtering ialah kaedah salutan wap fizikal jenis baharu.Berbanding dengan kaedah salutan penyejatan, ia mempunyai kelebihan yang jelas.
dalam banyak aspek.Sasaran percikan logam telah digunakan dalam banyak bidang.Aplikasi utama sasaran berputar.
■sel suria
■Kaca seni bina
■Kaca kereta
■Semikonduktor
■TV skrin rata, dsb
Maklumat Pesanan
Pertanyaan dan pesanan hendaklah mengandungi maklumat berikut:
☑ID spesifikasi sasaran×OD×L (mm).
☑Kuantiti yang diperlukan.
☑Sila hubungi kami untuk lebih banyak keperluan khas.